蔡司扫描电镜-能谱EDS操作流程-蔡司授权代理

　　1. 打开AZtec软件

　　WD=8.5 mm，3-7kV ,输出计数率>1000

　　2. 建项目，保存原数据(最重要的一步)

　　【文件】-【保存项目】或【新项目】。以【日期+EDS】命名，位置为【D盘】所属学院和导师姓名

　　3. 样品描述

　　保存项目后，自动创建样品1和区1，右击样品1可重命名。

　　更换样品时，选择【+新样品】

　　4. 选择测试类型

　　软件左上角下拉键里选择点扫(point&ID)，线扫描和面扫

　　5. 扫描图像

　　确定测试类型后，点击【开始】

　　在同一样品的不同区域或同一样品相同区域做不同EDS测试时，先点【新区】，然后点【开始】传图像

　　注意：(1)传图像时电镜必须是扫描状态，不能为拍照freeze状态

　　(2)留意软件下方输出计数率>1000时EDS数据才准确有效

　　(3) EDS测试时，WD在8.5 mm左右效果较佳

　　6. 点扫

　　选择【采集图谱】，鼠标直接选择待测点或待测矩形区域，选区后软件会自动进行谱图测试

　　7. 元素确认

　　切换到确认元素界面，点击Auto ID，

　　或手动选择元素，双击元素周期表中想选的元素，变绿则选上

　　如果不想要，再双击变红则去掉

　　8. 计算成分

　　切换到计算成分，点击【编辑列】，勾选【At%】,然后去掉定量结果表

　　9. 点扫数据输出

　　点击右上角【输出报告】，在对应reports文件夹保存word数据

　　如果测量结束后想自己重新绘制谱图，可以导出谱图原始数据。右击对应点的谱图空白处，找到【导出】，选择【EMSA】。SMSA导出的图谱的text格式文件

　　面扫(面分布图)

　　①先扫描图像，然后选择采集分布图数据，点击【开始】

　　②点击开始后，在构建分布图数据界面，可以确认元素(按第7步操作)，更换单个元素颜色，查看质量/原子百分比

　　③当面扫绿条过半时，在采集分布图数据界面单击停止，系统会扫描完这一编后停止;双击停止，系统会立刻停止面扫描。结合自身测试需求，选择扫描几遍。(一般3遍)

　　11. 面扫数据输出

　　(1)点击右上方的【输出报告】，在相应的reports文件夹里保存word文档

　　(2)切换到点扫界面，重复步骤【8】，然后点击右上方的【输出报告】，此报告有面扫区域的各个元素的平均质量百分比和原子百分比

　　(3) 如果想要单个元素的面扫图片，可以右击图片，找到导出，选择TIFF格式

　　12. 线扫描

　　(1)先扫描图像，然后选择采集先扫描数据，用鼠标话一条直线，点击【开始】

　　(2)点击开始后，在构建扫描数据界面，可以确认元素(按第7步操作)，在直线上方设置里更换单个元素颜色

　　(3)当线扫绿线过半时，在采集分布图数据界面单击停止，系统会扫描完这一编后停止;双击停止，系统会立刻停止面扫描。结合自身测试需求，选择扫描几遍。(一般3遍)

　　13. 线扫描数据输出

　　(1)点击右上方的【输出报告】，在你选择项目的reports文件夹里保存word文档

　　(2) 切换到点扫界面，重复步骤【8】，点击右上方的【输出报告】，此报告有整条直线的各个元素的平均质量百分比和原子百分比

　　(3)如果想自己绘制线扫描曲线，显示旁边的下拉栏选择【表】，Ctrl+A 全选，Ctrl+C复制所有数据，然后打开桌面下方的excel，复制、粘贴、保存数据。